广西师范大学学报（自然科学版） ›› 2010, Vol. 28 ›› Issue (2): 18-21.

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基于MCGS和MATLAB的薄膜厚度控制系统仿真

李杨帆, 蒋品群, 李廷会, 隆媛媛   

  1. 广西师范大学电子工程学院,广西桂林 541004
  • 收稿日期:2010-01-20 出版日期:2010-06-20 发布日期:2023-02-07
  • 通讯作者: 蒋品群(1970—),男,广西全州人,广西师范大学副教授,博士。E-mail:pqjiang@mailbox.gxnu.edu.cn
  • 基金资助:
    国家自然科学基金资助项目(10947011);广西教育厅科研项目(200608MS133);广西高校重点建设实验室项目(200912)

Simulation of Film Thickness Controlling System Based on MCGS and MATLAB

LI Yang-fan, JIANG Pin-qun, LI Ting-hui, LONG Yuan-yuan   

  1. College of Electronic Engineering,Guangxi Normal University,Guilin Guangxi 541004,China
  • Received:2010-01-20 Online:2010-06-20 Published:2023-02-07

摘要： 以MCGS组态软件和MATLAB为平台,设计和仿真了一个薄膜厚度控制系统。MCGS完成硬件接口的设置、数据的实时采集、人机对话、以动画的方式显示控制系统的运行情况,MATLAB完成PID参数的自动整定,并利用动态数据交换(DDE)技术建立两者间的通讯。仿真结果表明,本控制系统超调量小、响应速度快、自适应能力强,而且操作方便、显示直观,具有较大的应用价值。

关键词: 薄膜厚度控制, MCGS, MATLAB, BP神经网络, DDE协议

Abstract: A film thickness controlling system is designed and simulated based on MCGS configuration software as well as MATLAB.MCGS is used toaccomplish setting hardware interface,real-time data collecting,man-machine dialogue and animated displaying the running status of controlling system.MATLAB is used to auto-tuning PID algorithms,and DDE communication protocol is used torealize data exchange between MCGS and MATLAB.The simulating result indicates that the control system is characterized by small overshot,rapid response,swift self-adaptability,easy operation and direct display and has great application value.

Key words: film thickness controlling, MCGS, MATLAB, BP neural network, DDE protocol

中图分类号: 

  • TP273.2
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